一、产品概述

1、适用范围：适合于各单位实验室、高等院校实验室、教学等的项目科研、产品中试之用。

2、产品优点及特点：设备采用热丝化学气相沉积技术，已应用于国内多家用热丝法生产金刚石的生产线上。该设备已生产出大尺寸片状多晶金刚石厚膜，填补了国内空白，并获得了非常可观的经济效益。该系列设备适合于工业化生产也非常适合于科研、教学和产品中试之用。

3、主要用途：用于生长毫米级金刚石厚膜、金刚石薄膜、类金刚石膜、氮化硅和氧化硅膜等。在切削刀具、钻头、丝锥等表面沉积纳米金刚石薄膜、微晶金刚石薄膜。也可制备掺硼金刚石电极、BBD电极、金刚石电极薄膜等。

二、技术参数

型号:HF600

真空腔室结构:立式前开门结构，后置抽气系统，双层水冷

真空腔室尺寸:Φ600×H500mm

基片台尺寸:Φ200mm

衬底温度:600~1100℃

电源:DC

控制方式:PC+PLC+触摸屏控制

占地面积:主机L1620×W1060×H1900mm

总功率:≥43KW