一、产品概述

1、适用：大专院校、科研院所及企业进行薄膜新材料的科研与小批量制备。

2、产品特点/用途：

► 设备一体化设计，占地面积小，价格优惠，性能稳定，使用维护成本低；

► 设备配备4～6组蒸发源，兼容有机蒸发与无机蒸发，多元共蒸获得复合膜/分蒸获得多层膜，功能强大，性能稳定；

► 适用于实验室制备金属单质膜、半导体膜、有机膜，也可用于生产线前期工艺试验等；

► 适用于蒸发镀膜与手套箱环境有机融合，实现蒸镀、封装、测试等工艺无缝对接，广泛用于钙钛矿太阳能电池/OPV有机太阳能电池及OLED薄膜等研究系统等。

 

二、技术参数

型号：ZHDS400

镀膜方式：多源蒸发镀膜

真空腔室结构：方箱式前后开门；配置手套箱

真空腔室尺寸：L400×W440×H450mm

加热温度：室温～300℃

旋转基片台：120mm×120mm

基片台升降：手动调节升降高度0～80mm

膜厚不均匀性：≤±5.0%

蒸发源：2组金属源，2～4组有机源

控制方式：PLC/PC自动控制系统可选

占地面积：主机L1100×W780×H1800mm，手套箱尺寸定制

总功率：≥10KW