1.采用单片机单片机作为处理器，具有自主知识产权，扩展性好，可为用户进行定制化开发；

2.5.1英寸触摸操作液晶显示屏，可现实设定溅射电流、溅射时间，工作溅射电流、剩余溅射时间等参数；

3.溅射电流可在5-45mA内随意调节，最小步长为1mA；

4.溅射真空度独立控制，与溅射电流无关，且最小调节量0.1Pa；

5.系统提供金、铂对于空气和氩气的工作参数，可直接使用。同时提供3种自定义靶材，用户可根据自己需求设定工作参数；

6.溅射时间设定范围为1-600秒，最小调节量为1秒；

7.具备溅射电流、真空度双重互锁，安全可靠，任一调节触发，系统即可停止工作，防止因为误操作导致设备损坏；

8.极限真空优于1Pa，真空泵抽速为1L/s；

9.系统具备实时曲线显示溅射电流和真空度功能、屏幕亮度调节功能、系统工作时间和靶材使用时间显示等功能，非常方便用户了解系统工作状态。