1.分辨率: SE 1.0nm@30KV; SE 3.0nm@1KV ; BSE 2.5nm@30KV

2.放大倍率: 6倍-1000000 倍 (底片放大)

3.电子枪: Schottky 肖特基场发射电子枪

4.加速电压: 0～30kV

5.透镜系统: 多级高性能透镜系统，低像差锥形物镜

6.物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑

7.真空系统： 1个溅射离子泵+1个吸气剂离子复合泵，1个涡轮分子泵，1个机械泵；样品室真空优于6E-4 Pa ，电子枪仓真空优于2E-7 Pa。全自动真空控制，具有真空互锁功能 

8.探测器标准配置：高真空二次电子探测器；红外CCD摄像头

9.样品室提供5个可扩展接口，可以外接 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多种附件和探测器

10.五轴全自动大样品台

11.行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+70°,R=360°

12.最大样品直径: Ф340mm；最大样品高度：50mm

13.注：均具有防碰撞报警功能