光学显微镜和原子力显微镜一体式设计，光电控制一体化；

同时具备光学和原子力显微镜成像功能，两者可同时扫描成像，互不影响；

同时具备光学二维测量和原子力显微镜三维测量功能；

采用了垂直光路设计，配合气液两用型探针架可同时在空气或液体中使用；

利用了高倍光学定位系统，实现探针和样品扫描区域精确定位；

简易的激光光斑调节方式，可通过光学CCD窗口实时观测及调节光斑；

单轴驱动样品自动垂直接近探针，准确定位扫描区域，使针尖垂直于样品扫描；

马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式，保护探针及样品；

需配备气浮式防震台（选购），抗干扰能力强，不影响仪器使用操作；

集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器，纳米表征和测量精度优于98%。