激光检测头和样品扫描台集成一体,稳定可靠;
精密激光及探针定位装置,更换探针及调节光斑简单方便;
单轴驱动样品自动垂直接近探针,准确定位扫描区域,使针尖垂直于样品扫描;
马达控制加压电陶瓷自动探测的智能进针方式,保护探针及样品;
4X物镜光学定位,无需调焦,实时观测与定位探针样品扫描区域;
弹簧悬挂式防震方式,简单实用,防震效果好;
金属屏蔽隔音箱,内置高精度温湿度传感器,实时监测工作环境;
集成扫描器硬件非线性校正用户编辑器,纳米表征和测量精度优于98%。
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