Mapping系列光谱椭偏仪采用行业前沿创新技术,配置全自动Mapping测量模块。通过椭偏参数、 透射/反射率等参数的测量,快速实现薄膜全基片膜厚以及光学参数自定义绘制化测量表征分析
1、全基片椭偏绘制化测量解决方案
2、支持产品设计以及功能模块定制化,一键绘制测量
3、配置Mapping模块,全基片自定义多点定位测量能力
4、丰富的数据库和几何结构模型库,保证强大数据分析能力
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