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北京中科科仪股份有限公司前身为中国科学院北京科学仪器研制中心（原中国科学院科学仪器厂），始建于1958年，研制出我国第一台扫描电子显微镜、第一台涡轮分子泵、第一台商用氦质谱检漏仪，参与“两弹一星”、“正负电子对撞机”等一系列国家重大工程项目并做出了突出贡献。中科科仪始终以开放的姿态与国内外科研机构及厂商开展合作，经过五十多年的技术积累，已经拥有国内一流的电子光学研发团队，努力推动国产科学仪器向产业化、规模化方向发展。
中科科仪是国产品牌扫描电子显微镜领军企业，秉承中国科学院严谨、诚信的科研方针，紧抓机遇，追踪电子光学高端技术，不断推出适应市场，满足客户需求的电子光学产品，为客户提供系列标准化扫描电子显微镜、定制电子光学仪器、辅助设备、制样设备以及系统集成的解决方案，中科科仪已经在数十个领域为近千家客户提供了广泛的服务。
1.采用单片机单片机作为处理器，具有自主知识产权，扩展性好，可为用户进行定制化开发；
2.5.1英寸触摸操作液晶显示屏，可现实设定溅射电流、溅射时间，工作溅射电流、剩余溅射时间等参数；
3.溅射电流可在5-45mA内随意调节，最小步长为1mA；
4.溅射真空度独立控制，与溅射电流无关，且最小调节量0.1Pa；
5.系统提供金、铂对于空气和氩气的工作参数，可直接使用。同时提供3种自定义靶材，用户可根据自己需求设定工作参数；
6.溅射时间设定范围为1-600秒，最小调节量为1秒；
7.具备溅射电流、真空度双重互锁，安全可靠，任一调节触发，系统即可停止工作，防止因为误操作导致设备损坏；
8.极限真空优于1Pa，真空泵抽速为1L/s；
9.系统具备实时曲线显示溅射电流和真空度功能、屏幕亮度调节功能、系统工作时间和靶材使用时间显示等功能，非常方便用户了解系统工作状态。
1.分辨率: SE 3nm@30KV； BSE 6nm@30KV
2.放大倍率: 8倍～300000 倍 (底片放大)
3.电子枪: 翻开式预对中钨丝阴极
4.加速电压: 0～30kV连续可调，0-10kV步进量为100V，10kV以上步进量为1kV
5.具有一键看像功能
6.透镜系统: 三级高性能锥形透镜系统
7.物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
8.真空系统： 1个涡轮分子泵，1个机械泵； 样品室真空优于2.6E-3 Pa ，全自动真空控制，具有真空互锁功能
9.探测器标准配置
10.高真空二次电子探测器
11.四分割半导体BSE探测器
12.红外CCD摄像头
13.样品室提供3个可扩展接口，可接 WDS、EDS、BSE 等多种附件和探测器
14.样品台配置（可二选其一）
15.标准样品台（手动）
16.行程： X=80mm,Y=60mm,Z=50mm，T=-5°～+90°,R=360°
17.最大样品直径: Ф175mm；最大样品高度：40mm
18.五轴全自动台中型样品台
19.行程： X=80mm,Y=50mm,Z=30mm，T=-5°～+70°,R=360°
20.最大样品直径: Ф175mm；最大样品高度：20mm
21.注：所有规格样品室均具有防碰撞报警功能
1.分辨率: SE 1.0nm@30KV; SE 3.0nm@1KV ; BSE 2.5nm@30KV
2.放大倍率: 6倍-1000000 倍 (底片放大)
3.电子枪: Schottky 肖特基场发射电子枪
4.加速电压: 0～30kV
5.透镜系统: 多级高性能透镜系统，低像差锥形物镜
6.物镜光阑：三个可在真空外调节，无需拆卸镜筒即可更换物镜光阑
7.真空系统： 1个溅射离子泵+1个吸气剂离子复合泵，1个涡轮分子泵，1个机械泵；样品室真空优于6E-4 Pa ，电子枪仓真空优于2E-7 Pa。全自动真空控制，具有真空互锁功能
8.探测器标准配置：高真空二次电子探测器；红外CCD摄像头
9.样品室提供5个可扩展接口，可以外接 WDS、EDS、BSE、EBSD 等多种附件和探测器
10.五轴全自动大样品台
11.行程： X=150mm,Y=150mm,Z=60mm，T=-5°～+70°,R=360°
12.最大样品直径: Ф340mm；最大样品高度：50mm
13.注：均具有防碰撞报警功能
