氮化硅薄膜
1.同步辐射氮化硅薄膜窗口
同步辐射扫描透射电子显微技术(STXM)中的生物样品支持膜
2.TEM氮化硅薄膜窗口
透射电子显微镜(TEM)样品杆的支持载网
TEM氮化硅膜单窗口和多窗口产品主要用于TEM(透射电镜)样品杆的支持载网,实现生物或材料样品在电镜下的高分辨表征
微孔窗口由先进的MEMS工艺制造,可实现纳米管、二维材料和其他纳米样品的无衬底观测
3.纳米孔氮化硅薄膜窗口
应用于长序列、低成本、单分子高通量的DNA测序技术
4.原位液体芯片
实现纳米样品液体环境下实时动态观测
液体芯片可应用于以下研究分析:
TEM、SEM和拉曼等设备的液体环境样品观测和分析
原位化学反应观测、晶体生长和腐蚀原位研究
观测研究液态环境中的活细菌和细胞等生物样品
5.定制氮化硅薄膜窗口
定制化MEMS技术解决方案实现更多的科研创新
定制类型主要包括大窗口、多窗口氮化硅膜、原位加热芯片、电极芯片、原位电化学芯片和氮化硅膜悬臂梁器件等