进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强，采用高品质恒功率磁控溅射电源，确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM样品及温度敏感样品的喷金。原位等离子清洗源（选配件），用于清洗SEM样品表面有机污染物，同时有等离子活化作用，使喷金颗粒度更加细腻。