化学气相沉积系统(CVD)主要通过微波或射频的方法将目标气体电离，产生化学反应，从而在基片上沉积出所需要的薄膜产品。卓聚科技研发的CVD系统能在无催化剂的情况下生长高质量的石墨烯材料，并精确控制其生长层数，这种高精度的材料区别于一般工业生产的石墨烯薄膜，可应用于微电子产品及生物医药领域。