使用MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片作为敏感元件，研究功能材料气敏性能的分析工具以及高性能气敏传感器的开发与测试平台。通过将不同的气敏材料负载到微悬臂梁传感芯片上，可以形成多种多样的质量型气敏传感器。当传感器对目标气体发生吸附作用时，引起的微小质量改变可以被微悬臂梁气敏测试系统实时感知和测量，从而实现对目标气体的定量分析与测试。由于MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片具有超高的质量检测灵敏度，因此该仪器可实现对ppb甚至ppt量级气体的痕量检测，是研究气敏材料和气敏传感器的新利器。