●适用领域：光伏产业、平板显示器行业、半导体行业、化工业、实验室、科研、制造业等

●适用工艺：等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、等离子体刻蚀、等离子体清洗、射频离子源、等离子体扩散、等离子体聚合溅射、反应溅射等

●全数字控制，高稳定度和高可靠性

●进线具有APFC模块，提高输入侧功率因数，降低谐波

●优化结构设计，功率密度大

●高亮LCD显示，操作直观

●稳定可靠的功放和直流控制模块

●连续、脉冲输出模式

●驻波1.5时仍能输出额定功率

●三个可编程模拟量输出

●完善的保护功能