1.转速可控范围：100-12000RPM，转速分辨率：1RPM

2.最大单步步长3000S，旋转时间分辨率0.1S

3.加速度可控范围：100-30000RPM/S

4.可处理碎片(小于1cm)至6英寸(150mm)圆晶底物

5.4.3寸全彩触摸屏，提供触屏笔操作，中英文界面可选

6.可进行多步程序运行，最多可存贮10组10步程序

7.HDPE高分子耐腐蚀、易清洁内腔，带排废功能

8.SUS耐腐蚀不锈钢机身，耐溶剂性PC透明盖子

9.带一只自动点胶端口，可升级自动点胶功能

10.100W直流无刷电机，宽电压适用：AC100-230V输入

11.带真空和盖子开关互锁功能，确保操作安全

12.标配三种规格铝合金真空载物盘（直径10mm、25mm、55mm）

13.防堵胶功能设计，真空通道进胶安全保护功能

14.外形尺寸：256(W)*358(D)*258(H)