本设备的炉管两端分别安装有进料进气真空腔室和出料排气真空腔室（即收放铜箔的密封装置），收放铜箔的密封装置内分别对应安装有放卷滚轮和收卷滚轮，进料进气真空腔室与炉体之间安装有射频等离子体发生器，出料排气腔体与炉体之间安装有风冷装置。相对于现有技术具有快速冷却、连续生长的优点，可以进行大面积、高质量石墨烯的规模化生长。