利用MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片，通过“变温微称重法”，定量提取功能材料与气体分子发生吸附时，表界面分子作用热力学和动力学参数的科学分析仪器。

该仪器及工作原理均为世界首创，可以定量获取决定功能材料吸附性能的本质参数，如焓变、吉布斯自由能变化、活化能、熵变等，对于研究材料吸附机理、指导材料性能优化、预测材料应用方向等方面有重要的意义。

使用MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片作为敏感元件，研究功能材料气敏性能的分析工具以及高性能气敏传感器的开发与测试平台。通过将不同的气敏材料负载到微悬臂梁传感芯片上，可以形成多种多样的质量型气敏传感器。当传感器对目标气体发生吸附作用时，引起的微小质量改变可以被微悬臂梁气敏测试系统实时感知和测量，从而实现对目标气体的定量分析与测试。由于MEMS谐振式微悬臂梁传感芯片具有超高的质量检测灵敏度，因此该仪器可实现对ppb甚至ppt量级气体的痕量检测，是研究气敏材料和气敏传感器的新利器。

以MEMS自加热谐振式微悬臂梁传感芯片为核心，替代传统的天平+炉管加热方式，实现片上热重分析功能。该仪器的工作原理为世界首创，与传统仪器相比，除了体积更小巧外，具有分析速度更快、灵敏度更高、样品消耗量更少、升温速率和传质影响小、可快速升降温等优点，可广泛应用于各类材料的研究开发、工艺优化与质量监控等领域。