基于经典基片弯曲法Stoney公式测量原理，采用先进控制技术和傻瓜化的操作，使得FST1000薄膜应力测量仪特别适合于要求快速测量常规薄膜残余应力需求。

采用无油隔膜泵产生一个洁净的100 Pa量级的真空，通常抽真空时间小于30s。特别适用于TEM 透射电镜样品杆的日常真空储存或除水汽。

进口品牌涡轮分子泵和无油隔膜泵的完美配合产生一个洁净的<3*10-6 Torr的真空压强。特别适用于TEM 样品杆的真空存储、检漏和样品等离子体清洗用途。采用远程射频离子源清洗，高效、低等离子体轰击损伤。标配两路清洗气体流量控制器，触摸屏控制，即插即用。

采用进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强，采用高品质恒功率RF射频电源，确保工艺重复性。感应射频等离子体放电模式也有利于降低样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度敏感的样品等离子体清洗、表面活化等用途。主要应用于生物冷冻电镜微栅碳膜亲水活化处理。

进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强，采用高品质恒功率磁控溅射电源，确保恒定沉积速率。磁控阴极的使用也有效减少等离子体对样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于追求更高分辨率SEM样品及温度敏感样品的喷金。原位等离子清洗源（选配件），用于清洗SEM样品表面有机污染物，同时有等离子活化作用，使喷金颗粒度更加细腻。