利用薄膜干涉光学原理，对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面，探头同位接收反射光线。白光干涉薄膜厚度测量仪Delta根据反射回来的干涉光，用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm，可同时完成多层膜厚的测试。对于100nm以上的薄膜，还可以测量n和k值。RT100广泛地用于光学玻璃、薄膜、显示、触摸屏、手机盖板等行业。配备积分球，可用于具有毛糙表面的样品反射光谱和透射光谱测试，如聚光玻璃、毛玻璃等。