CVD管式炉系统用于温度在1100℃左右的CVD实验，也可用于：真空烧结、真空气氛保护烧结、纳米材料制备、电池材料制备等多研究领域。炉管两端不锈钢法兰密封，精确的手动浮子流量计或高精度质量流量计精确的控制气体流量，满足不同保护气氛的工艺要求；真空获得由一台旋片式双极直联真空泵和电阻硅真空测量系统组成，真空度5pa，也可选择分子泵机组高真空系统，真空度0.0001pa；炉膛采用日本进口氧化铝多晶纤维材料，具有温场均衡、表面温度低、节能等优点