ALD化学气相沉积是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法。2个316L不锈钢源瓶与2路进气管路连接，多根加热管给2个源瓶加热，2路进气管道上各自安装一个ALD阀门（该阀门由ALD控制面板控制）、控制2路管道交替脉冲输入，多根加热管给ALD通道加热，保证被汽化液体保持汽化状态进入反应区域，多个旁通支路、可以通其它气体或运载气体。