采用进口品牌高性能旋片泵产生一个洁净的<1 Pa的真空压强，采用高品质恒功率RF射频电源，确保工艺重复性。感应射频等离子体放电模式也有利于降低样品的热影响和离子轰击损伤。特别适用于对温度敏感的样品等离子体清洗、表面活化等用途。主要应用于生物冷冻电镜微栅碳膜亲水活化处理。