Exploiter | E200S
Exploiter系列产品是原速科技自主开发的新一代智能化原子层沉积(ALD) 研发系统,广泛适用于太阳能电池、纳米器件、微电子、催化、生物等领域,可在硅片、石英、玻璃、金属等基材表面全方位均匀制备纳米薄膜。
产品符合半导体工业标准,设备采用模块化设计理念,高度集成,维护方便;采用进口核心零部件,高可靠性,高精度,高寿命,为工艺一致性提供硬件保障;友好的软件操作界面,简化的操作逻辑与可视化的界面设计,降低用户操作难度,减少误操作,提高设备的使用效率;全方位安全互锁设计,为用户的安全使用及设备的正常运行提供保障;预留管路接口可实现更丰富的定制化需求,腔室预留等离子体接口,无需更换腔体即可升级,实现热法与等离子体双模式的切换;满足不同的研发需求。