卓聚科技研发的纳米压电驱动马达，使用压电陶瓷作为运动促动原件，利用粘滑运动原理，可以在数十毫米范围内实现纳米级别的最小步长，解决了传统纳米台行程不足，而微米电动台分辨精度不高的问题。此外，相比电机类运动控制产品，卓聚研发的产品具有运动无需润滑，百分百真空兼容，可在从液氦温区（-269℃）至室温的宽温区内工作等优点。在功能及操作模式上，我们研发的产品具有步进和扫描双工作模式，在宏观行程范围内能达到亚纳米分辨率的定位。