多波长椭偏仪FS-1擅长测量透明薄膜的厚度和折射率。相比于单波长椭偏仪，多波长椭偏仪可测定薄膜厚度，对于透明薄膜测量厚度至少可达5μm，不存在厚度周期性问题；可确定样品其它其它参数特性例如薄膜粗糙度、多层膜厚度等；对数据分析提供检测依据，一个良好的分析模型应该适用于不同波长的数据；对于薄的薄膜（<20nm）多波长椭偏仪提供的数据信息量可以与光谱椭偏仪相媲美。