低温真空泵（又称低温泵、冷泵）是一种利用低温冷冻和低温吸附原理抽气的容积式真空泵，是无油高真空环境获得设备。

低温泵适合应用于要求洁净无油、快速抽气超高真空的场景，主要用于溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备、空间模拟装置、高能物理研究装置、加速器束流管、超高真空装置等应用场合。