Fischione微束定点离子刻蚀仪（型号：1040）主要用来对半导体集成电路、芯片、器件等样品的刻蚀处理，从而获取该类样品的线路结构，该产品主要由聚焦离子枪及高压电场、配套真空系统、触屏控制系统、配套线缆及气路等等部分组成。

Fischione微束定点离子刻蚀仪（型号：1040）主要技术参数：

1、加工离子能量范围需包括：50eV ~ 2keV；

2、离子束束斑尺寸：≤1μm，可精确定位制备样品；

3、样品台倾转角度：-12度 ~ +30度，连续可调；

4、最大离子束流：≥1mA/cm2。