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NO:F34
Add: 深圳市宝安区新安街道兴东社区优创空间2号楼429,518000
WWW: http://www.superald.com
深圳市原速科技有限公司是一家专注于开发新一代原子层沉积(ALD)系统的高科技企业,为半导体、新能源、纳米技术等领域的薄膜研发及生产提供技术解决方案,致力于成为超薄膜层制备技术及生产装备的供应平台。
原速科技始终坚持自主研发与技术创新,拥有世界级技术工程师团队,为客户提供ALD工艺及生产的整体解决方案,孜孜不倦的为广大客户提供最合适的产品与最好的服务。
我们秉承技术创新,合作共赢的价值理念,力求将原子层沉积技术做到极致,成为行业引领者。
Exploiter系列产品是原速科技自主开发的新一代智能化原子层沉积(ALD) 研发系统,广泛适用于太阳能电池、纳米器件、微电子、催化、生物等领域,可在硅片、石英、玻璃、金属等基材表面全方位均匀制备纳米薄膜。
产品符合半导体工业标准,设备采用模块化设计理念,高度集成,维护方便;采用进口核心零部件,高可靠性,高精度,高寿命,为工艺一致性提供硬件保障;友好的软件操作界面,简化的操作逻辑与可视化的界面设计,降低用户操作难度,减少误操作,提高设备的使用效率;全方位安全互锁设计,为用户的安全使用及设备的正常运行提供保障;预留管路接口可实现更丰富的定制化需求,腔室预留等离子体接口,无需更换腔体即可升级,实现热法与等离子体双模式的切换;满足不同的研发需求。