NIOS纳米压痕仪是实现超过30种不同的测量技术的全能系统，涵盖了亚微米和纳米尺度所有类型的物理和机械性能测量。通过控制软件，可以实现高度自动化的测量，允许终端用户配置任何测量方案，无需操作员干预即可执行。纳米压痕仪的模块化设计允许终端用户根据自己的需要配置纳米机械测试机。配置可包括以下模块: 宽量程纳米压痕仪；光学显微镜；原子力显微镜；扫描纳米机械测试仪；电特性测量；侧向力传感器；原位形貌成像；加热台等。

多波长椭偏仪FS-1擅长测量透明薄膜的厚度和折射率。相比于单波长椭偏仪，多波长椭偏仪可测定薄膜厚度，对于透明薄膜测量厚度至少可达5μm，不存在厚度周期性问题；可确定样品其它其它参数特性例如薄膜粗糙度、多层膜厚度等；对数据分析提供检测依据，一个良好的分析模型应该适用于不同波长的数据；对于薄的薄膜（<20nm）多波长椭偏仪提供的数据信息量可以与光谱椭偏仪相媲美。

高分辨率磁光克尔显微MagVision Kerr系统是研究铁磁和亚铁磁性薄膜和多层膜的磁性性质、绘制磁性区域的有力工具。磁光克尔效应描述了从磁化表面反射光的变化。从磁化表面反射的光可以改变偏振和反射强度，而克尔效应描述的是从磁化表面反射的光的变化。