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NO:M01
Add: 南京市江宁区长青街32号
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低温真空泵(又称低温泵、冷泵)是一种利用低温冷冻和低温吸附原理抽气的容积式真空泵,是无油高真空环境获得设备。
低温泵适合应用于要求洁净无油、快速抽气超高真空的场景,主要用于溅射镀膜设备、蒸发镀膜设备、离子注入设备、分子束外延设备、空间模拟装置、高能物理研究装置、加速器束流管、超高真空装置等应用场合。