压力控制阀和压力控制器，能快速精确可靠地控制压力。阀具有良好的低流导甚至阀接近关闭位置的控制能力。自调谐功能使得阀能最快的响应和最小的过冲。模拟和数字通讯口可选。阀的口径从KF-25到NW250可选。

流量计，各种模拟和数字通讯接口可选。精度为设定值的±1%，相应速度快于7000毫秒，可以在不同气体及量程间自由切换。

MKS MultiGas 6030傅利叶变换红外光谱分析仪是以傅利叶变换红外为基础的多气体光谱分析仪。其具有ppb到ppm灵敏度。广泛用于半导体生产工艺控制和监控，气体纯度和组成分析，环境有毒有害气体监视和工业尾气监视. 傅利叶变换红外光谱分析仪能同时分析和显示多达30种气体。分析仪储存了校准光谱，故省出了气体筒的成本。