用原位原子尺度双轴倾转力、热、电一体化综合测试系统拥有独特创新设计的MEMS芯片以及与之相匹配的微驱动系统，保证了样品在透射电镜毫米尺度空间内实现力场与热场或电场耦合加载条件下，同时具备大角度正交双轴倾转功能，进而实现在多场耦合加载下材料原子尺度显微结构及其性能演化的原位观察与记录。

该系统可实现1200℃高温下力热耦合加载，最大驱动力大于100mN，驱动行程大于4μm，最小驱动步长低于0.5nm，达到国际领先水平，极大的扩展了透射电子显微镜在材料科学原位研究领域的应用。

本系统与各大品牌电镜有优异的机械及电磁兼容性，稳定性高，保证电镜原有的分辨能力。独特的面内力热场加载方式有效解决了传统探针加载下因样品与探针温度差带来的温度波动和样品漂移，以及不可控的热膨胀，真正做到力、热场加载互相独立、互不干扰。整合了独特创新设计的MEMS芯片与微型驱动器的高集成Mini-lab原位样品搭载平台，保证了不同形状、性质的样品在TEM中有稳定的力、热、电加载实验环境，并能精确控制参数变量。精密的结构设计保证样品能在多场加载条件下实现大角度双倾，结合皮米级超高精度控制系统，确保原子级成像稳定、分辨率高。功能强大，操作便捷的控制软件提供了丰富的加载模式，并实时收集与处理数据，满足用户不同条件下的实验与测试设计要求。

INSTEMS系列为用户提供了7种原位TEM实验平台。

包含三种单外场施加平台，三种双外场耦合平台和一种三外场一体化平台：

•INSTEMS-M（力场加载平台）

•INSTEMS-E（电场加载平台）

•INSTEMS-T（热场加载平台）

•INSTEMS-ME（力电耦合加载平台）

•INSTEMS-TE（热电耦合加载平台）

•INSTEMS-MT（力热耦合加载平台）

•INSTEMS-MET（力热电一体化平台）