ALD化学气相沉积是将不同的反应前驱物以气体脉冲的形式交替送入反应室中并在沉积基体上化学吸附并反应而形成沉积膜的一种方法。2个316L不锈钢源瓶与2路进气管路连接，多根加热管给2个源瓶加热，2路进气管道上各自安装一个ALD阀门（该阀门由ALD控制面板控制）、控制2路管道交替脉冲输入，多根加热管给ALD通道加热，保证被汽化液体保持汽化状态进入反应区域，多个旁通支路、可以通其它气体或运载气体。

真空热压炉是将真空/气氛、热压成型、高温烧结结合在一起设备，适用于粉末冶金、功能陶瓷等新材料的高温热成型。如应用于透明陶瓷、工业陶瓷等金属以及由难容金属组成的合金材料的真空烧结以及陶瓷材料碳化硅和氮化硅的高温烧结，也可用于粉末和压坯在低于主要组分熔点的温度下的热处理，目的在于通过颗粒间的冶金结合以提高其强度。

 

主要参数：

1、最高温度：1200℃

2、加热区尺寸(mm)：Φ130×205（mm）

3、工作区尺寸(mm)：Φ100×100（mm）

4、压力控制系统：可通过炉体上的触摸屏设置压力、保压时间等参数

5、保压时间：按需设置

6、最大压制行程： 100mm

7、压头尺寸：60mm

8、加压压力精度： ±100Kg

9、最大压力： 5T （10MPa表压）

10、水冷机：冷却水额定压力：0.1～0.2 MPa

本产品主要供大专院校、科研单位及生产企业在真空或保护气氛条件下对金属材料（如不锈钢、镍基合金、铜、合金钢、镍钴合金、稀土钕铁錋等）的熔炼处理，也可进行合金钢的真空精炼处理及精密铸造。

 

产品特点：

1、采用卧式炉体，侧部开门结构，进出料方便，占地空间较小。

2、可以50段程序控温，控温精确，可以控制升温速率和恒温时间。

3、可以方便的更换不同的线圈以满足熔炼不同千克数的物料。

4、安装有观察孔，可以清晰观察到炉内坩埚物料的情况。

5、安装有红外测温仪，可以精确的测量加热套的温度。

6、配有分子泵，真空度可达8×10-4Pa。

7、安装有水冷机，水冷机具有欠压和断水报警，使用安全可靠。

8、采用IGBT电源，具有过温、断水保护、报警、输出电流显示等功能。

9、电极和坩埚可以在炉体外手动转动，液体可以在腔体内完成倾倒和浇铸，这样就避免了浇铸的危险和可以在真空下浇铸。

10、具有二次加料系统。

11、转动电极和炉体之间采用威尔逊密封，密封性能好，转动教轻松。