中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司创建于1958年，前身为中国科学院沈阳科学仪器研制中心。园区位于辽宁省沈阳市浑南区，占地面积110亩。多年来，公司专注于高真空、超高真空、超洁净真空技术的研究和发展，是我国集成电路装备和真空仪器设备的研制、生产基地，先后组建“国家分子束外延技术试验基地”、“国家多功能电子能谱仪生产基地”、“国家真空仪器装置工程技术研究中心”和“真空技术装备国家工程实验室”等科研平台。

主要产品：

1. 真空应用产品：

（1）真空薄膜仪器设备：PVD镀膜设备，CVD镀膜设备等；

（2）新材料制备设备：真空冶金设备，晶体材料制备设备等；

（3）国家大科学工程装置：真空互联，同步辐射等；

2. 真空获得产品：系列罗茨干泵（机组）、涡旋干泵及真空部件等。